莫尔条当指示光栅相对于光标尺移动时,莫尔条纹沿其垂直方向上、下移动。移过的莫尔条纹数等于移过的光栅的刻线数。沿着莫尔条纹的移动方向放置四杜光电池,其间距为莫尔条纹的1/4,这样就可产生相位差为90。的四个信号。通过细分和辨向电路将这些信号进行处理.即可检测位移量及运动方向。
图2一20所示是反射式相位干涉条纹。主光栅与指示光栅的刻线宽度札同,但刻线的距离不相等。若以主光栅的刻线为基准,指示光栅的四条刻结依次错开00、900、1800、2700,光电池为水平方向排列,当指示光栅相刘于主光栅移动时,光电池各瞬间接受的光通量就不同,产生的电势相位彼此错开900。这些信号经过细分和辨向电路的处理,即可测知移动量和移动丈向。因为指示光栅的刻线是按相位排列的,故称这种光栅为相位光栅。
⑵ 磁栅的结构和工作原理
磁栅(又称磁尺)也是一种电磁监测装置。它利用磁记录原理,将一定波长的矩形波或正弦波由信号用磁头记录在磁性标尺的磁膜上,作为测量基准。检测时,磁头将磁性标尺上的磁化信号转化为电信号,并通过检测电路将磁头相对于磁性标尺的位置或位移量用数字显示出来或转化为控制信号输人给数控机床。
磁栅传感器由磁胜标尺、磁头和检测电路三部分组成,其结构原理如图2-21所示。磁性标尺是在不导磁材料(如玻璃、铜或其他合成材料)的基体上,采用涂敷、化学沉淀或电镀等方法覆盖上一层10~20产贝厚的磁性材料,形成一层均匀的磁性薄膜,然后采用录磁的方法在磁胜薄膜上录上等
⑵ 磁栅的结构和工作原理
磁栅(又称磁尺)也是一种电磁监测装置。它利用磁记录原理,将一定波长的矩形波或正弦波由信号用磁头记录在磁性标尺的磁膜上,作为测量基准。检测时,磁头将磁性标尺上的磁化信号转化为电信号,并通过检测电路将磁头相对于磁性标尺的位置或位移量用数字显示出来或转化为控制信号输人给数控机床。
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