21世纪开始，DRIE制作的蛇型微型分离柱的卓越性能逐渐显现。制作的超快速色谱分离柱，柱长50cm，蛇型结构，矩形截面，深100μm，宽100μm，涂覆单壁碳纳米管（SWNTs）材料作为固定相，配合程序温度控制微型电阻加热器，实现了快速色谱分析，对4种烷烃可在1s内进行分离。采用DRIE工艺制作了微型色谱分离柱。该分离柱长3m，截面为正方形，深宽均为100μm，涂覆的OV－5固定相厚250nm。
通常微型色谱分离柱的密封都是利用阳极键合Pyrex玻璃层完成的，利用共晶键合进行沟槽的密封，选用金作为键合中间介质层，制作的全硅型分离柱的热传导系数比硅－玻型分离柱高2个数量级，获得了120℃／min的升温速率，在35s内实现了对分离峰非常接近的n―C6和n―C12烷分离。对于蛇型色谱分离柱，色谱峰展宽主要来源于转角处气流路径的不一致。进一步分析了半圆形、正弦补偿形、圆锥汇聚形和同心圆形4种弯角方案对色谱性能的影响，结果表明正弦补偿形最好。
综合上述报道，可以看出：组分通过蛇型结构分离柱到达探测器的过程中，因在分离柱宽度方向上的各组分都通过了相同的距离，组分到达探测器时的浓度均匀性有所提高，分离谱峰拖尾现象明显减轻，提高了分辨率。通过计算流动动力学模拟（CFD）证明了蛇型结构相比螺旋型结构能提供更好的构架，为最优化的几何结构。
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