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通常,用两种以上的金属氧化物半导体材料混合烧结而成为多孔陶瓷。这些材料有ZnO-LiO2-V2O5系、Si-Na2O-V2O5系、 TiO2-MgO-Cr2O3系、Fe3O4等,前三种材料的电阻率随湿度增加而下降,故称为负特性湿敏半导体陶瓷,最后一种的电阻率随湿度增加而增大,故称为正特性湿敏半导体陶瓷。
如图所示为几种负特性半导瓷阻值与湿度之关系。
如图所示为Fe3O4正特性半导瓷湿敏电阻阻值与湿度的关系曲线。
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