基于以太网的低温等离子体测控系统设计

    (1)打开变频器电源，并设置为自动控制方式(即RS485命令控制)，设置变频器运行频率为40．0Hz，然后点击运行，这时变频器控制的真空泵开始运转抽真空，这时会发现真空室气压不断减小，设置的变频器频率越大，机械泵转速越快，抽真空速度越快，稳定时真空室压强就更低，压强可以低至0．1Pa(该真空计测量下限值)；变频器频率在实验中限定在20．0～60．0Hz范围内；
    (2)当真空泵抽真空基本达到稳定后，打开流量计电源，设置为自动控制方式(即RS485命令控制)和阀控模式，然后可以设置工作气体流量值(0～100sCCm)，设置流量后会发现真空室里压强会增加一些；
    (3)当真空室气压稳定后打开直流高压电源，设置为自动控制方式(即通过DA输出模拟电压控制电源输出功率)，设置DA输出电压(范围0～500mV)，ADC采集的电压与电流也会显示出来(大约100ms刷新一次)；
    操作中需要注意一点：在关掉设备时应该先关直流高压电源，再关变频器。这是因为如果先关变频器，机械泵停止抽真空，真空室气压很快就恢复为大气压，这会导致直流高压电源因为气压太大不能放电，这相当于直流高压电源空载，此时高压电源的输出电压会达到其最大值，这可能会损坏相关设备。上位机软件设计时考虑到了这一点，即在关闭变频器时先判断直流高压电源是否已关闭，若尚未关闭，则不关闭变频器并且弹出提示对话框。
    实际测试发现该系统可以安全、稳定、可靠地运行，系统的实时性也满足使用要求。为了进一步提高系统实时性，可以考虑采用TDMA(时分多路复用访问)的轮询协议。

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