车用TPMS专用传感器技术剖析（2）
点击数：7300 次 录入时间：03-04 11:48:48 整理：http://www.55dianzi.com 电工文摘
图4压力/温度导入孔
图5硅压阻式压力传感器结构
图6加速度传感器平面结构图
图7加速度传感器切面结构图
同样，加速度传感器也是用MEMS技术制作的，图6是MEMS加速度传感器平面结构图，图7是加速度传感器切面结构图，图中间是一块用MEMS技术制作的、可随运动力而上下可自由摆动的硅岛质量块，在其与周边固置硅连接的硅樑上刻制有一应变片，与另外三个刻制在固置硅上的应变片组成一个惠斯顿测量电桥，只要质量块随加速度力摆动，惠斯顿测量电桥的平衡即被破坏，惠斯顿测量电桥就输出一个与力大小成线性的变化电压△V。
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