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书名:高等学校电子信息科学与工程专业教材--纳米电子材料与器件
出版社:电子工业出版社
作者:谢孟贤
出版日期:2005-10-1
简介:
本书较为系统地介绍纳米电子材料的制备方法、功能特性、应用开发等知识，并结合微电子技术的发展，讨论纳米电子器件的基本原理和设计方法。全书共分10章，包括纳米技术概论、纳米技术基础、纳米导电、陶瓷、磁性、半导体、光电材料和单电子器件等。
本书可作为电子材料与电子器件、微电子、光电子、材料学科的专业基础课教材，也可供物理、化工、冶金等相关专业领域的大学生、研究生、教师及工程技术人员参考使用。
第1章 纳米技术概论
1.1 引言
1.2 基本概念和内涵
1.3 纳米技术发展简史
1.4 纳米技术的应用
1.5 纳米技术发展的主要难点
主要参考文献
第2章 纳米电子技术基础〖ST〗
2.1 纳米效应
2.2 纳米薄膜技术
2.2.1 基片的选择
2.2.2 制膜方法
2.2.3 成膜方法比较
2.3 超晶格与低维材料
2.3.1 超晶格材料及其电子状态
2.3.2 低维材料
2.3.3 多孔硅
2.3.4 纳米微晶硅薄膜
2.4 纳米器件工艺概论
主要参考文献
第3章 纳米导电材料
3.1 纳米金属的性质与制备
3.1.1 纳米金属材料的主要物理性质
3.1.2 纳米金属固体的制备方法
3.1.3 纳米金属膜的制备方法
3.1.4 纳米金属的结构与形态
3.1.5 纳米金属中的晶界和非平衡结构合金
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