微传感器与微执行器全书

本站免费提供《微传感器与微执行器全书》下载，我们己经对《微传感器与微执行器全书》进行全面的整理检查，以保证您安全的下载《微传感器与微执行器全书》，本站还有更多电子技术资料、资源提供下载，为下次能方便快速的找到本站，记得收藏我们的网址（http://www.55dianzi.com）哦！
微传感器与微执行器全书
作者：（美）格雷戈里T. A.科瓦奇（Gregory T. A. Kovacs）著；张文栋等译
出版社：科学出版社
出版时间：2003

本书是一部关于微机械系统方面的重要论著和首选技术参考书，全书共分九章，几乎涉及MEMS技术的所有研究领域，畅述了各个领域中MEMS相关的基本原理，并在此基础上，对典型器件和系，统的设计与工艺进行了详细的介绍。特别是本书提供了大量的参考文献，为读者参考国内外相关研究情况提供了全面的背景资料。本书可供MEMS及相关领域的专家学者、科研技术人员以及大专院校师生查阅使用。