超大规模集成电路工艺学下载

超大规模集成电路工艺学

名称：超大规模集成电路工艺学
类型：电子技术书籍
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更新时间：03-04 10:41:04
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超大规模集成电路工艺学
上海交通大学出版社
1987

本书讨论了硅集成电路的工艺原理,包括晶体生长和片子制备,外延介质和多晶硅淀积等。

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