化学气相沉积法制备纳米粒子的特点
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化学气相沉积法制备纳米粒子的特点。
利用挥发性的金属化合物为原料,容易精制,而且生成物不需要粉碎、纯化,得到的超细粉纯度高;生成的微粒子的分散性好;控制反应条件以获得粒径分布狭窄的纳米粒子;有利于合成高熔点的无机化合物超微粉末;除制备氧化物粉体外,只要改变介质气体,还可以适用于直接合成有困难的金属,氮化物,碳化物和硼化物等非氧化物。
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