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综上所述,微型热电器件比现已商业化应用的热电器件体积更小,重量更轻,功率密度更大,能够实现和面光电器件、MEMS及微光机电系统(MOEMS)的集成;加工微型热电器需要的热电材料少,而且在加工工艺上可以实现批量化生产,所以微型热电器件的成本低;一般微型热电器件的功耗都比较小,热电转换效率问题已不再突出。因此,微型热电器件在发电、制冷和传感器方面都有巨大的潜在应用。
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