MEMS传感器的大批量高精度生产和高可靠性及单价廉价，特别适宜在汽车电控系统中应用，博世公司以产品系列完整性而引以为荣，汽车MEMS传感器超过35种型号。风险投资家依然青睐MEMS，被视为新兴工业，2001年1季度对MEMS公司投资5.1亿美元，一些新建MEMS工厂即将投入生产，另一些半导体厂家也将相继加盟，美国已成立MEMS工业组织，将会进一步推动其发展。
汽车MEMS传感器所用材料从单晶硅、多晶硅、石英晶体向其它新型材料发展，例如，采用巨磁电阻材料研制用量很大的制动防抱死系统的轮速传感器，以期替代现在使用的变磁阻式传感器。生产工艺上开发出非硅基加工的微电火花加工、微电铸、激光加工、表面贴装等技术，硅基加工技术也有多种发展。
在国内，MEMS传感器的基础性科研开发取得显著成果，但尚未具备大批量生产的能力，与国际上的产业化存在相当差距。国产汽车在2010年将达到600万辆的生产能力，所需用的传感器多达百余种，发展前景诱人。从市场需求出发，结合多种力量，促进汽车MEMS传感器的产业化将是MEMS的一个重要方向，也是其科技转化生产力的市场平台。
