c.输出信号的调节功能。集成在芯片上的电路可以在信号传输前预先完成A/D转换、阻抗匹配、输出信号格式化以及信号平均等信号调节和处理工作。
d.MEMS传感器还可以把多个相同的敏感元件集成在同一芯片上形成传感器阵列(如微型触觉传感器);或把不同的敏感元件集成在同一芯片上实现多功能传感(如微型气敏传感器)。c%ddze.由于MEMS传感器体积微小，重量极轻，因此其附贴片钽电容加质量等因素对被测系统的影响可以忽略不计，可提高测量精度。
本文关键字：传感器 元器件特点及应用，元器件介绍 - 元器件特点及应用
