图2 软件程序控制设计框图
3.3 燃烧加热控制
燃烧加热控制是顶枪在非处理期间在大气加热下对真空室进行加热或除瘤化渣。对真空室进行保温，以及除去真空室的残渣。加热启动时，当顶枪到达预定加热高度时，PLC控制燃烧控制单元打开切断阀，燃气燃烧，PLC控制调节阀调节流量，达到给定流量。火焰检测器检测顶枪火焰的燃烧情况，不满足燃烧强度则自动提枪。给定流量在操作站设定。
图3 信号传递结构简图
顶枪中通过的气体有N2、O2和CO。燃烧加热控制是控制CO和O2的比例和流量，流量调节是个简单闭环控制系统，控制采用PID算法控制，数学模型如下：
e=PV-SV (1)
(2)
PV：流量实际值;SP：流量设定值;e：流量差;OUT：控制器输出;δ：比例度;Ti积分时间;Td：微分时间。
在程序中，直接调用PID功能块就能很好的实现数据运算。这里使用的是FB41连续控制PID功能块，能非常方便的对其进行参数组态。在适当调整δ，Ti，Td三个参数值后，就能获得较好的控制质量。加热时由流量计检测流量，控制器得出调节阀的开度值输出控制调节阀的开度，来控制燃气流量达到预定值。也可用手动方式控制调节阀的开度，来调节流量，此时是个开环控制。处理开始时和结束后，需要用N2对顶枪进行吹扫，清扫管道中的煤气，气体通断由PLC通过电磁阀进行控制。处理完毕，要对CO、O2管道进行压力测试，分别由电接点压力表和切断阀来完成，保证气体管道无泄漏。
图4 软件程序设计框图
3.4 顶枪冷却控制
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