真空断路器的灭弧原理与其他型式断路器不同，是指触头在真空中关合、开断的开关设备，也就是利用真空作为绝缘及灭弧介质的断路器。真空泡的真空度下降，真空泡内会有一定的电离现象，并由此产生电离子，使灭弧室内绝缘下降，导致断路器不能正常开断。
4 处理方法
4.1断路器拒合、拒分
检查操动机构所有连接部件的间隙，对不合格部件，更换新的高硬度的合格零件。
4.2断路器误分
检查所有可能漏雨点并进行有效封堵;在输出拐臂联杆上安装密封胶套;开启机构箱内的加热驱潮装置。
4.3断路器机构储能后，储能电机不停
调整行程开关安装位置，使得摇臂在最高位置时能将行程开关常闭接点打开。
4.4断路器直流电阻增大
调整灭弧室触头开距和超行程，测量接触电阻的方法可以用《规程》要求的直流压降法测量(电流要在100A以上)，否则更换灭弧室。
4.5断路器合闸弹跳时间增大
(1)适当增大触头弹簧的初始压力或更换触头弹簧。
(2)若拐臂、轴销间隙超过0.3mm，可更换拐臂、轴销。
(3)调整传动机构，利用机构在合闸位置超过主动臂死点时传动比很少的特点，将机构向靠近死点方向调整，可减小触头合闸弹跳。
4.6断路器中间箱CT表面对支架放电
在互感器表面均匀涂抹一层半导体胶，使得表面电场均匀。
4.7断路器灭弧室不能断开
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