加速度传感器的原理及其选型方法

　　主要的压电加速度传感器采用锆钛酸盐陶瓷，具有很宽的工作温度范围，宽的动态量程，宽的频率范围（可用频率>10kHz）。电荷输出型加速度传感器把压电陶瓷封装在具有气密性的金属外壳中。由于具有抵抗严酷环境的能力，其具有非常好的耐久性。由于其具有很高的阻抗，该传感器需要配合电荷放大器和低噪声屏蔽电缆使用，最好是同轴电缆。低噪声电缆是指其具有低的摩擦电噪声2，这是一种运动产生的来自电缆本身的噪声。很多传感器厂家同时提供这种低噪声电缆。电荷放大器和电荷输出型加速度传感器连接，从而可以消除电缆电容和传感器电容并联带来的影响。配合先进的电荷放大器，电荷输出型加速度传感器很容易实现宽的动态响应（>120dB）。由于压电陶瓷的工作温度范围很宽，有些传感器可以用于-200°C到+400°C，甚至更宽温度的环境。它们特别适合极限温度下的振动测试，如涡轮引擎的监测。

电压输出型加速度传感器

　　另一种压电加速度传感器输出电压信号而不是电荷信号。这种传感器的内部包含了电荷放大器。电压模式的传感器有3线式（信号，地，电源）和2线式（信号/电源，地）。2线式又被称为集成电路式压电传感器（IEPE）。由于可以方便的采用同轴线（2线，芯线和屏蔽线）连接，IEPE非常流行。该模式下，交流信号叠加在直流电源上。在输出端串联一个耦合电容能够去掉传感器的直流偏置电压，从而仅获得传感器信号输出。许多现代仪器提供IEPE/ICP3输入接口，从而可以和IEPE传感器直接连接。如果IEPE供电接口不可用，需要一个带有恒流源的信号放大器和IEPE传感器一期使用。3线式传感器则需要一根单独的直流电源线供电。

　　与电荷输出型加速度传感器不同的是，除了压电陶瓷元件，电压输出型加速度传感器包含一个微型电路，电路的工作温度范围限制了传感器的整体工作温度范围，通常不超过125°C。也有一些设计提高到了175°C，但其在其它性能方面会有所下降。

　　可用动态范围－由于压电陶瓷元件具有极宽的动态范围，电荷输出型加速度传感器在量程定义上显得十分灵活，因为其满量程可以通过远程的电荷放大器由用户自由调节。而电压输出型加速度传感器具有既定的满量程，其决定于内部的电荷放大器，一旦由工厂生产出来，将不再能改变。

　　压电加速度传感器可以制成很小的封装，因此适合做轻结构的动态测试。

　　直流响应加速度传感器

　　两种技术经常被用来制作直流响应加速度传感器：电容型压阻型

　　电容型

　　电容型（随加速度变化，由检测质量块引起电容变化）加速度传感器在当今是最通用的。在某些领域无可替代，如安全气囊，手机移动设备等。高的产量使得该类传感器成本低廉。但是这种低成本的传感器受制于较低的信噪比，有限的动态范围。所有的电容型加速度传感器都具有内部时钟，该时钟(~500kHz)是检测电路必不可少的部分，由于泄漏经常会对输出信号产生干扰。这种噪声的频率远高于测量信号的频率，一般不会对测量结果造成影响，但是它始终和测试信号叠加在一起。由于内置了放大器芯片，其一般具有3线（或4线差分输出）接口。只要有直流供电便能工作。

　　电容型加速度传感器的工作带宽一般限制在几百Hz，部分原因是其具有大的内部结构和重的空气阻尼。电容型加速度传感器适合测量低量程的加速度，其上限一般在100g以内。除了这些限制，现代的电容型加速度传感器，特别是仪用级别的器件，具有很好的线性和高的稳定性。

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