微机械元件和仪器新进展

8、CMOS热压力传感器

利用压力对空气热传导性能有影响，可以制成测量气体压力的CMOS 压力传感器。目前研制的器件，可用来测量102至106Pa空气压力[12]。

9、CMOS 热、通风和空气调节（HVAC）多功能传感器

热、通风和空气的调节须测试温度、气流和空气的湿度。将热电堆、热压力传感和测量湿度的指状电容利用CMOS技术集成一体，便构成了HVAC传感器[13]。这种传感器将在人类高质量生活环境的控制中发挥重要作用。

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